http://ir-heater-star.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ja Mon, 13 Jul 2026 16:51:27 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 16:51:27 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター"></p> <p>空気を加熱するのはやめよう：MEMSウェーハを乾燥させるためのより良い方法<br> MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェーハを乾燥させる際の苦労がどれほど大変かご存知でしょう。これはバランスを取る必要がある作業です。ウェーハを完全に乾燥させ、残留物を残さないようにしたいけれど、単純に熱を当ててしまうと、ウェーハ全体が歪んでしまいます。</p>