http://ir-heater-star.com/ja/tags/%E7%B5%8C%E7%94%B1/ Recent content in 経由 on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="TSV シリコン貫通ビア ヒーター"></p> <p>ファブの現場では、TSVのエッチングや充填処理において、<a href="https://goldisgood.com">温度変動</a>の余地はありません。フォトレジストを焼成する際に2℃程度の温度変動があれば、重要な寸法の制御が崩れ、ビア内に空洞ができてしまいます。TSVヒーターにより、プロセス全体を通じてウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に保つことができます。</p> <p><strong>内部で何が重要か</strong> 私たちが開発したTSVヒーターは、高速応答型のハロゲンランプを使用しており、短波長のNIR光を利用することで、レジストやシリコンが直接その光を吸収します。温度設定値は数秒以内に安定し、温度上昇率も0.5℃/秒以内に抑えられます。このシステムは、クラス1～100のクリーンルーム内でも動作可能で、粒子の<a href="https://henruite.com">発生</a>も≤0.1粒子/cm²以下です。また、24時間365日連続稼働しても<a href="https://o-yate.net">問題</a>なく、<a href="https://o-yate.com">熱管理</a>も適切に行われるため、ビアの完全性やバリア層が損なわれることはありません。</p>