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		<title>直線的 on Five-Star Infrared Heating Systems</title>
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				<title>直線型赤外線加熱エミッター</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://ir-heater-star.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png&#34; alt=&#34;直線型赤外線加熱エミッター&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;300mmプロセスでは、ベイクプロファイルにわずかなずれがあっても、スケジューラーは停止しません。半度ほどのずれでも、ウェハの線幅に影響を与え、最終的には廃棄処分につながる可能性があります。対流式オーブンは、クリーンルームのスペースや処理時間の面で制約をもたらします。一方、ホットプレートでは、エッジから中心部までの温度勾配が生じ、生産効率と品質の間でバランスを取る必要がありますが、それは現実的ではありません。&lt;/p&gt;</description>
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