http://ir-heater-star.com/ja/tags/%E7%86%B1%E9%9B%BB%E5%AF%BE/ Recent content in 熱電対 on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="半導体ヒーター用熱電対"></p> <p>ライン上では、温度は単なる数値ではなく、歩留まりとスクラップを分ける境界線である。ホットプレートの温度が0.5℃ずれるだけで、フォトレジストのソフトベークが規格外になる。ハードベークを数度高く設定すると、CDロスやスカミングが発生する。リソグラフィーおよびフォトレジスト処理は熱予算に対して許容がなく、クリーンルームも多くを許さない。</p>