http://ir-heater-star.com/ja/tags/%E5%86%92%E9%A0%AD/ Recent content in 冒頭 on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 01:29:28 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Tue, 30 Jun 2026 01:29:28 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="FOUP フロントオープニング・ユニファイド・ポッド ドライヤー"></p> <p>リソグラフィーの工程では、FOUPは前回のクリーニング時に残った薄い水分をまだ含んだ状態で搬送されます。もしソフトベイクの過程で温度が安定しなくなると、フォトレジストの厚みが変化し、露光が始まる前から寸法制御が難しくなります。そのため、水分を除去し、温度を再現性良く維持できるFOUP用ドライヤーが必要です。推測に頼ることなく、確実に機能する装置が求められます。</p>