http://ir-heater-star.com/ja/tags/%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9/ Recent content in デバイス on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 01:02:38 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/power-device-wafer-heating-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 01:02:38 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/power-device-wafer-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="パワーデバイスウェーハ加熱ランプ"></p> <p>ファブフロアでは、フォトレジストのベークがわずかにずれるだけで、ライン上で目に見える前に歩留まりを大きく損なう可能性があります。パワーデバイス用ウェハでは、熱予算が厳しいため、加熱ランプはサイクルごと、ロットごとにまったく同じ温度に到達させる必要があります。温度変動も予期せぬ事態も許されません。</p>