http://ir-heater-star.com/ja/tags/%E3%83%81%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%83%96/ Recent content in チューブ on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ja Sat, 18 Jul 2026 01:48:30 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/twin-tube-gold-coated-lamp/ Sat, 18 Jul 2026 01:48:30 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/twin-tube-gold-coated-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ツインチューブ型の金メッキランプ"></p> <p>クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために<br> クラス100のクリーンルームを<a href="https://goldisgood.com">運用</a>する際には、「ほぼ清潔」というだけでは不十分です。わずかなほこりや、ヒーターから発生するガスでさえも、半導体ウエハーや医療用インプラントを数秒以内に破壊してしまう可能性があります。これは本当に深刻な問題です。</p> <p>そのため、私たちは金コーティングが施された高純度の石英製ツインチューブランプを使用しています。聞こえは豪華に思えますが、実際の理由はとても単純です。</p> http://ir-heater-star.com/ja/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ Fri, 05 Jun 2026 01:17:47 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="中波石英ヒーター管"></p> <h1 id="ファブフロアでのフォトレジスト焼成はウォームアップではないそれはライン幅制御のゲートキーパーであるウェーハ全体に2のドリフトが現れると重要寸法が変化してしまう中波クォーツヒーター管はそのドリフトが始まる前にそれを止めるように設計されている">ファブフロアでのフォトレジスト焼成はウォームアップではない。それはライン幅<a href="https://o-yate.net">制御</a>のゲートキーパーである。ウェーハ全体に2℃のドリフトが現れると、重要寸法が変化してしまう。中波クォーツヒーター管は、そのドリフトが始まる前にそれを止めるように設計されている。</h1> <h2 id="技術的に重要なこと">技術的に重要なこと</h2> <p>中波クォーツは、フォトレジストおよびポリマー膜にクリーンに結合するバンドで放射するため、チャンバー壁ではなく膜を加熱している。これにより、サブミリメートルの熱均一性と、信頼できる再現性が得られる。<a href="https://henruite.com">生産</a>においては、焼成面でウェーハ全体に±0.1℃に相当し、ロットごとにセットポイントが安定することを意味する。チューブの形状と放射率は、迅速で制御された昇温と再現可能な浸漬のために調整されているため、ソフトベイクおよびハードベイクのプロファイルがシフト間でドリフトすることはない。</p>