http://ir-heater-star.com/ja/tags/%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91%E3%83%BC/ Recent content in ステッパー on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ja Fri, 19 Jun 2026 02:06:13 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ Fri, 19 Jun 2026 02:06:13 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ニコンのステッパーランプの交換"></p> <p>リソグラフィーの工程において、出力や温度プロファイルが不安定なニコン製ステッパーランプを使用すると、光の強度が低下するだけでなく、露光精度も悪化します。その結果、ソフトベイクやハードベイクの過程でフォトレジストの状態が乱れ、線幅のばらつきや残留膜の発生、歩留まりの低下といった<a href="https://goldisgood.com">問題</a>が生じます。これらはすべて、多くの人々が見落としがちな部品の不足に起因しています。</p>