Lampada riscaldante per il trattamento dei wafer in SiC
Nello stabilimento di produzione, c’è un wafer di SiC da 150 mm che si trova all’interno della cella di litografia, pronto per la fase di...
Portalampada a infrarossi per utensile wafer
Sulla superficie del wafer, la deriva termica durante il pre-bake del fotoresist o l’asciugatura del wafer non è solo un problema di velocità...
Lampada di riscaldamento per wafer di dispositivi di potenza
Sulla linea di produzione, una cottura del photoresist anche leggermente sbagliata può compromettere la resa prima ancora che sia visibile in linea....
Riscaldatore per la lavorazione ottica di wafer
Out on the line, quel wafer da 300mm attende il soft bake—la fase che fissa il profilo del photoresist. Una deriva di 2°C è sufficiente per...