Riscaldatore TSV (Through Silicon Via)

Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800

Nelle linee di produzione, i processi di incisione e riempimento dei TSV non lasciano spazio a eventuali variazioni termiche. Una variazione di temperatura di 2°C durante il processo di cottura del fotorestante può compromettere il controllo delle dimensioni critiche dei componenti, creando inoltre dei vuoti all’interno dei TSV stessi. Il riscaldatore per TSV mantiene una uniformità della temperatura su tutto il wafer entro i ±0,1°C, durante l’intero processo di produzione.

Cosa è importante nel funzionamento del sistema
Il riscaldatore per TSV è basato su lampade ad alogeno con tempi di risposta rapidi; tali lampade emettono radiazioni a lunghezza d’onda corta, in modo che il fotorestante e il silicio possano assorbire direttamente l’energia termica. I valori di temperatura vengono raggiunti in pochi millisecondi, e le velocità di regolazione mantengono la precisione entro i 0,5°C/s. Il sistema funziona in ambienti puliti di classe 1–100, senza generare particelle nell’aria, con un livello di particelle inferiore a 0,1 particella/cm². È progettato per funzionare 24/7, senza interruzioni improvvise; inoltre, il controllo termico garantisce che l’integrità dei TSV non venga compromessa.

Via) on Five-Star Infrared Heating Systems

Riscaldatore TSV (Through Silicon Via)