Tubo riscaldatore a quarzo a media onda

Fri, 05 Jun 2026 01:17:47 +0800

Sul piano di produzione, la cottura del fotoresist non è un riscaldamento. È il custode del controllo della larghezza della linea. Se si verifica un drift di 2°C attraverso il wafer, le tue dimensioni critiche si sposteranno. I tubi riscaldatori in quarzo a media lunghezza d’onda sono progettati per fermare quel drift prima che inizi.

Cosa conta, tecnicamente

Il quarzo a media lunghezza d’onda emette in una banda che si accoppia in modo pulito con i film di fotoresist e polimeri, quindi si sta riscaldando il film—non le pareti della camera. Il vantaggio è un’uniformità termica sub-millimetrica con ripetibilità su cui puoi contare. In produzione, questo si traduce in ±0.1°C attraverso il wafer sulla superficie di cottura, e punti di impostazione che rimangono fissi lotto dopo lotto. La geometria del tubo e l’emissività sono tarate per una rampa veloce e controllata e un’immersione ripetibile, quindi i tuoi profili di soft bake e hard bake non driftano tra i turni.

Quarzo on Five-Star Infrared Heating Systems

Tubo riscaldatore a quarzo a media onda

Cosa conta, tecnicamente