Emettitore di riscaldamento a infrarossi lineare

Wed, 24 Jun 2026 00:55:47 +0800

Su una linea da 300 mm, lo scheduler non interrompe il processo solo perché il profilo di cottura non è preciso. Anche un piccolo scostamento di mezzo grado può causare variazioni nella larghezza dei bordi del wafer, con conseguenze negative per la qualità del prodotto finale. I forni a convezione presentano problemi legati allo spazio disponibile e al tempo di ciclo necessario per la cottura; inoltre, le piastre riscaldanti creano gradienti di temperatura tra i bordi e il centro del wafer, il che rende difficile ottimizzare il rapporto tra qualità e velocità di produzione.

Lineare on Five-Star Infrared Heating Systems

Emettitore di riscaldamento a infrarossi lineare