Nelle linee di produzione, la deriva termica durante il processo di trattamento del fotoresist non è certo un problema teorico. Si manifesta attraverso variazioni nella larghezza delle linee tracciate, problemi legati all’adesione del fotoresist e una diminuzione della resa produttiva, che peggiora di turno in turno. È necessario utilizzare una sorgente di calore che collabori con il processo, e non che lo ostacoli. Le nostre lampade RTP offrono proprio questo vantaggio.
Utilizziamo emettitori a infrarossi a onde corte e medie, progettati in modo da garantire una trasmissione energetica rapida e precisa. Questo permette di ottenere una uniformità della temperatura su tutto il wafer, entro ±0,1°C, oltre a un profilo di riscaldamento ripetibile, rispettando i limiti termici richiesti. Il processo di essiccazione diventa quindi più preciso: la rimozione dei solventi avviene in modo controllato, lo stress sulla pellicola resta stabile e i parametri critici vengono mantenuti entro i limiti previsti. Il sistema funziona in ambienti puliti di classe 1–100, senza generazione di particelle, grazie a un monitoraggio continuo e all’uso di materiali con bassa emissione di gas.
Ecco perché questo sistema funziona bene nella pratica.
Nell’essiccazione dei wafer, il riscaldamento rapido e senza contatto fornito dalle lampade permette di eliminare l’umidità senza danneggiare la superficie del wafer. Nella litografia, il controllo preciso della temperatura migliora la rimozione degli eventuali difetti presenti sui bordi del wafer. Per la polimerizzazione, le stesse lampade garantiscono un flusso di lavoro costante e preciso, permettendo di elaborare più wafer all’ora, senza perdere in resa produttiva.
L’uso di energia diminuisce, poiché l’energia viene diretta direttamente verso la pellicola e il wafer, invece che utilizzata per riscaldare l’ambiente circostante. La affidabilità del sistema si dimostra attraverso funzionamenti continui per oltre 5.000 ore, con una diminuzione della resa inferiore al 5%, riducendo così al minimo i tempi di inattività imprevisti.
Alcune note pratiche:
Durante l’installazione è importante assicurarsi che le dimensioni della lampada e i suoi connettori siano compatibili con lo strumento RTP, e verificare che il percorso ottico sia corretto; altrimenti l’uniformità della temperatura ne risentirà. Le lampade funzionano meglio in un ambiente pulito e asciutto, e richiedono ispezioni periodiche per mantenere il loro funzionamento ottimale.
È importante proteggere la sorgente di alimentazione, in modo da evitare transitori di tensione che potrebbero comprometterne il funzionamento.