Lampu pemanas untuk proses pengolahan wafer SiC
Di area pengolahan wafer SiC, terdapat wafer berdiameter 150 mm yang berada di dalam alat litografi, siap untuk proses pemanasan menggunakan bahan...
Lampu inframerah untuk pemrosesan grafena
Di lini produksi, profil pemanasan bahan fotorezist bukanlah hal yang bisa diabaikan begitu saja—hal tersebut merupakan faktor penentu antara produk...
Pemanas pemrosesan wafer optik
Out on the line, wafer 300mm itu menunggu proses soft bake—langkah yang mengunci profil photoresist. Pergeseran suhu sebesar 2°C saja sudah cukup...