Suku cadang lampu litografi ASML

Sat, 27 Jun 2026 01:21:03 +0800

Di pabrik pengolahan wafer, Anda tentu tahu aturannya: sedikit saja perubahan suhu sebesar 0,2°C pun dapat mengacaukan proses pengendalian dimensi kritis wafer, dan hal ini akan merugikan Anda secara finansial karena banyaknya wafer yang terbuang. Anda membutuhkan lampu cadangan yang memiliki karakteristik termal yang stabil, bukan yang mudah berubah-ubah. Lampu cadangan dari ASML memberikan stabilitas termal yang tinggi, sehingga sesuai dengan standar termal yang digunakan dalam proses produksi wafer.

Apa yang penting dalam penggunaan lampu tersebut? Kami memproduksi lampu yang mampu menghasilkan panas yang stabil dan konsisten. Elemen halogen berfrekuensi pendek yang terbungkus dalam kuarsa berkualitas tinggi memungkinkan respons yang cepat dan kontrol spektral yang akurat, sehingga pemanasan wafer tetap konsisten. Keseragaman suhu di seluruh zona pemanasan mencapai ±0,1°C, sehingga ketebalan lapisan pada wafer tetap konsisten, dan variasi antar batch pun berkurang. Lampu ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dan tidak menghasilkan partikel apa pun saat beroperasi. Dengan demikian, kualitas produksi tetap terjaga. Lampu ini juga memiliki umur pakai yang panjang, yaitu lebih dari 5.000 jam, dengan penurunan kinerja kurang dari 5%.profil daya lampu ini juga sesuai dengan standar termal yang ditetapkan oleh platform ASML.

Litografi on Five-Star Infrared Heating Systems

Suku cadang lampu litografi ASML