Kekuatan on Five-Star Infrared Heating Systems

Kabel daya untuk pemanas fabrikasi

Fri, 26 Jun 2026 01:18:51 +0800

Di fasilitas produksi semikonduktor, segalanya bergantung pada detail-detail kecil. Perubahan suhu sebesar 0,5°C selama proses pemanasan bahan fotoresist dapat menyebabkan perubahan lebar garis pembuatan chip sebesar beberapa nanometer. Waktu henti yang tidak terencana selama proses pengeringan bahan juga dapat mengacaukan jadwal produksi secara keseluruhan.

Kabel daya pemanas tersebut bukan sekadar aksesori belaka. Kabel ini merupakan bagian penting dari sistem pengontrol suhu, yang menghubungkan titik kontrol suhu dengan proses produksi secara langsung. Jika kabel ini bermasalah, maka kualitas produk dan waktu produksi akan terpengaruh.

Pemanas AFM (Atomic Force Microscope)

Wed, 17 Jun 2026 11:18:54 +0800

Pada proses pemindaiannya, perubahan suhu pada stage AFM akan berdampak sebagai “noise” dalam hasil pengukuran. Perubahan suhu sebesar setengah derajat saja sudah cukup untuk mengacaukan posisi tepi permukaan benda yang dipindai, merusak profil lapisan fotoresist, dan memaksa produk yang berkualitas baik untuk dikembalikan ke proses produksi ulang. Kami merancang pemanas AFM agar dapat menjaga suhu probe dan sampel tetap stabil, tanpa perlu sistem terus-menerus menyesuaikan diri dengan perubahan suhu.

Yang penting adalah respons yang cepat dan stabil, serta tingkat keseragaman yang tinggi. Pemanas ini menggunakan gelombang inframerah pendek, ditambah dengan jendela kuarsa untuk memastikan transmisi cahaya yang optimal. Pemanas ini mampu menghasilkan daya sebesar 150 W dalam ukuran yang kompak. Sistemnya merupakan sistem tertutup, dengan sensor yang telah dikalibrasi sehingga suhu di area pengukuran tetap berada dalam kisaran ±0,1°C. Bodi pemanas ini cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100, karena menggunakan bahan-bahan yang tidak mengeluarkan gas berbahaya, serta permukaan yang tidak akan menimbulkan partikel-partikel kecil. Tingkat repetibilitasnya sangat tinggi, yaitu ±0,05°C setelah proses siklus termal, sehingga hasil pengukuran tetap konsisten dari satu batch ke batch lainnya.

Lampu pemanas wafer perangkat daya

Sat, 06 Jun 2026 01:02:38 +0800

On the fab floor, pemanggangan photoresist yang sedikit saja melenceng dapat merusak hasil produksi sebelum Anda menyadarinya di jalur produksi. Pada wafer perangkat daya, anggaran termal sangat ketat—lampu pemanas harus mencapai suhu yang sama, siklus demi siklus, lot demi lot. Tidak boleh ada pergeseran. Tidak boleh ada kejutan.

Apa yang penting di balik layar

Kami menggunakan elemen halogen gelombang pendek di dalam selongsong kuarsa, disetel untuk pemanasan radiasi yang cepat dan bersih. Sistem ini menargetkan uniformitas tingkat wafer dalam kisaran ±0,1°C, cepat mencapai titik setel, dan mempertahankannya di bawah beban.