FOUP (Front Opening Unified Pod) – Alat pengering

Tue, 30 Jun 2026 01:29:28 +0800

Di lantai proses litografi, FOUP tetap bergerak sambil membawa lapisan air tipis yang tersisa setelah proses pembersihan sebelumnya. Jika proses pemanasan dimulai tanpa kontrol yang tepat, maka profil fotorezistan akan berubah, sehingga kontrol dimensi kritis menjadi sulit dilakukan, bahkan sebelum proses eksposur dimulai. Anda membutuhkan alat pengering FOUP yang mampu menghilangkan kelembapan dan menjaga suhu tetap stabil, tanpa perlu menebak-nebak.

Apa yang penting dalam proses ini? Kita menggunakan gelombang inframerah berfrekuensi sedang untuk pemanasan yang cepat dan efektif, tanpa menyebabkan partikel-partikel berterbangan di sekitar FOUP. Konsistensi suhu pada setiap wafer tetap berada dalam rentang ±0,1°C, sehingga setiap wafer mendapatkan kondisi termal yang sama baik selama proses pemanasan lembut maupun keras. Kompatibilitas dengan ruang bersih kelas 1–100 dicapai melalui saluran udara yang tertutup dan penggunaan bahan-bahan yang minim emisi gas, sehingga jumlah partikel pun berkurang. Pemanas tersebut dirancang untuk digunakan 24/7, dan reliabilitasnya diukur berdasarkan waktu operasional dan interval perawatan, bukan berdasarkan promosi marketing.

(Depan) on Five-Star Infrared Heating Systems

FOUP (Front Opening Unified Pod) – Alat pengering