Pemanas AFM (Atomic Force Microscope)

Wed, 17 Jun 2026 11:18:54 +0800

Pada proses pemindaiannya, perubahan suhu pada stage AFM akan berdampak sebagai “noise” dalam hasil pengukuran. Perubahan suhu sebesar setengah derajat saja sudah cukup untuk mengacaukan posisi tepi permukaan benda yang dipindai, merusak profil lapisan fotoresist, dan memaksa produk yang berkualitas baik untuk dikembalikan ke proses produksi ulang. Kami merancang pemanas AFM agar dapat menjaga suhu probe dan sampel tetap stabil, tanpa perlu sistem terus-menerus menyesuaikan diri dengan perubahan suhu.

Yang penting adalah respons yang cepat dan stabil, serta tingkat keseragaman yang tinggi. Pemanas ini menggunakan gelombang inframerah pendek, ditambah dengan jendela kuarsa untuk memastikan transmisi cahaya yang optimal. Pemanas ini mampu menghasilkan daya sebesar 150 W dalam ukuran yang kompak. Sistemnya merupakan sistem tertutup, dengan sensor yang telah dikalibrasi sehingga suhu di area pengukuran tetap berada dalam kisaran ±0,1°C. Bodi pemanas ini cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100, karena menggunakan bahan-bahan yang tidak mengeluarkan gas berbahaya, serta permukaan yang tidak akan menimbulkan partikel-partikel kecil. Tingkat repetibilitasnya sangat tinggi, yaitu ±0,05°C setelah proses siklus termal, sehingga hasil pengukuran tetap konsisten dari satu batch ke batch lainnya.

Atomik on Five-Star Infrared Heating Systems

Pemanas AFM (Atomic Force Microscope)