http://ir-heater-star.com/he/tags/sic/ Recent content in SiC on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo he Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/he/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/he/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="נורת חימום לעיבוד שבבי SiC"></p> <p>בחדר העיבוד, ישנו שבב SiC בגודל 150 ממ, הנמצא בתוך תא הליתוגרפיה, מוכן לעיבוד. שינוי של מספר מעט של מעלות בטמפרטורה עלול לפגוע בשליטה בממדים החשובים של השבב, וזה עלול לגרום לנזקים כבדים. לכן, המנורה שמשמשת לחימום לא יכולה להיות סתם מקור חום – עליה לפעול כמכשיר תרמי אמין וחזרתי.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> עיצבנו את המנורה לעיבוד שבבי SiC כך שהיא תשתמש בגופי פליטה של אינפרא-אדום בגלים קצרים, המונחים במעטפת קוורץ. כך ניתן להשיג אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C בכל אזור העיבוד, ואף אחידות ברמת הטמפרטורה של ±0.5°C בין סדרות שונות של שבבים. צפיפות האנרגיה של המנורה מותאמת לתהליכי עיבוד הפוטורזיסט, והטמפרטורה נשמרת לאורך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5% בהספק. המנורה מתאימה לשימוש בחדרי עבודה מסוג Class 1–100, והחיבורים בין חלקי המנורה מונעים ייצור של חלקיקים במהלך העבודה.</p>