Processing on Five-Star Infrared Heating Systems

נורת חימום לעיבוד שבבי SiC

Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800

בחדר העיבוד, ישנו שבב SiC בגודל 150 ממ, הנמצא בתוך תא הליתוגרפיה, מוכן לעיבוד. שינוי של מספר מעט של מעלות בטמפרטורה עלול לפגוע בשליטה בממדים החשובים של השבב, וזה עלול לגרום לנזקים כבדים. לכן, המנורה שמשמשת לחימום לא יכולה להיות סתם מקור חום – עליה לפעול כמכשיר תרמי אמין וחזרתי.

מה חשוב באמת? עיצבנו את המנורה לעיבוד שבבי SiC כך שהיא תשתמש בגופי פליטה של אינפרא-אדום בגלים קצרים, המונחים במעטפת קוורץ. כך ניתן להשיג אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C בכל אזור העיבוד, ואף אחידות ברמת הטמפרטורה של ±0.5°C בין סדרות שונות של שבבים. צפיפות האנרגיה של המנורה מותאמת לתהליכי עיבוד הפוטורזיסט, והטמפרטורה נשמרת לאורך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5% בהספק. המנורה מתאימה לשימוש בחדרי עבודה מסוג Class 1–100, והחיבורים בין חלקי המנורה מונעים ייצור של חלקיקים במהלך העבודה.

מנורת אינפרא אדום לעיבוד גרפן

Sat, 20 Jun 2026 01:57:29 +0800

במפעלי הייצור, פרופילי החימום של חומרי הציפוי אינם עניין של בחירה – אלא הם הגורם שקובע האם יהיה ייצור מוצלח או שהמוצרים ייזרקו לפח. שינוי של 2°C במהלך תהליך החימום יכול לגרום לשינויים בתכונות החומר, להיווצרות של שכבות לא רצויות, ולכישלון של כל המוצרים. ייצרנו את המנורות שלנו לעיבוד גרפן כדי להסיר את אי-הוודאות הזו.

מה באמת חשוב מבחינה טכנית המנורות האלו פולטות אור באורך גל של אינפרא-אדום, מה שמאפשר תגובה תרמית מהירה ומבוקרת. כך ניתן לשמור על אחידות טמפרטורה ברמת הוואפר, בטווח של ±0.1°C. המנורות שלנו שומרות על רמת קרינה יציבה במשך אלפי שעות – המנורות פועלות כבר 5,000 שעות ויותר, עם ירידה בהספק של פחות מ-5%.

מַחמֵם עִיבּוּד מַשׁטָח אִפּוּפִי

Tue, 02 Jun 2026 03:46:21 +0800

Role

את הקו, אותו וופר בגודל 300mm ממתין לאפייה רכה — השלב שמייצב את פרופיל הפוטורזיסט. סטייה של 2°C בלבד עלולה לפגוע בממדים הקריטיים ולגרום לזריקה של כל המלאי. בנינו את מחממי עיבוד הוופרים האופטיים שלנו כדי למנוע זאת לחלוטין.

Here’s what actually matters under the hood.

היחידה נשענת על מקרני אינפרא-אדום קצרי גל (SWIR) בתוך תא משודרג בקוורץ כדי להגיע לאחידות תרמית ברמת הוופר של ±0.1°C על פני כל המשטח. זה שומר על פרופילי האפייה של הפוטורזיסט יציבים, מחזור אחרי מחזור. תאימות ל-Cleanroom Class 1–100 איננה תוספת; היא מוטמעת בעיצוב עם הרכבות אטומות, חומרים בעלי פליטה נמוכה של מזהמים, ונתיב נקי מחלקיקים שמונע זיהום באזור התרמי.