מַחמֵם עִיבּוּד מַשׁטָח אִפּוּפִי

Tue, 02 Jun 2026 03:46:21 +0800

Role

את הקו, אותו וופר בגודל 300mm ממתין לאפייה רכה — השלב שמייצב את פרופיל הפוטורזיסט. סטייה של 2°C בלבד עלולה לפגוע בממדים הקריטיים ולגרום לזריקה של כל המלאי. בנינו את מחממי עיבוד הוופרים האופטיים שלנו כדי למנוע זאת לחלוטין.

Here’s what actually matters under the hood.

היחידה נשענת על מקרני אינפרא-אדום קצרי גל (SWIR) בתוך תא משודרג בקוורץ כדי להגיע לאחידות תרמית ברמת הוופר של ±0.1°C על פני כל המשטח. זה שומר על פרופילי האפייה של הפוטורזיסט יציבים, מחזור אחרי מחזור. תאימות ל-Cleanroom Class 1–100 איננה תוספת; היא מוטמעת בעיצוב עם הרכבות אטומות, חומרים בעלי פליטה נמוכה של מזהמים, ונתיב נקי מחלקיקים שמונע זיהום באזור התרמי.

אופטי on Five-Star Infrared Heating Systems

מַחמֵם עִיבּוּד מַשׁטָח אִפּוּפִי

Role

Here’s what actually matters under the hood.