בחדרי הייצור, שינויים תרמיים בתהליך העיבוד של הפוטורזיסט אינם עניין אקדמי בלבד. הם מתבטאים בשינויים ברוחב הקווים, בבעיות של הידבקות של החומר, ובירידה בתפוקה – בעיות שמחמירות משיבוץ לשיבוץ. יש צורך במקור חום שיפעל בתיאום עם התהליך, ולא נגדו. מנורות RTP שלנו מספקות בדיוק את זה.
אנו משתמשים במנורות תרמיות באורך גל קצר ובינוני, בעלות עיצוב מסוג קוורץ-הלוגן, שמאפשרו העברה מהירה ויעילה של אנרגיה. כך נוצרת אחידות בטמפרטורה ברמת הוואפר, בטווח של ±0.1°C, וניתן לשלוט בתהליך בצורה חוזרת ונשנית. כך ניתן לשלוט בהסרת החומרים המסיסים, לשמור על יציבות החומר, ולשמור על הממדים הנדרשים. המערכת פועלת בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, ללא יצירת חלקיקים, ובזכות מעקב בזמן אמת ושימוש בחומרים עם פליטה נמוכה של גזים.
זו הסיבה שהמערכת עובדת היטב בתנאי ייצור אמיתיים.
בתהליך ייבוש הוואפר, החימום המהיר והלא-קונטקטי של המנורה מסייע בהסרת הלחות מבלי לפגוע בפני השטח. בתהליך הליתוגרפיה, המנורה מאפשרת שליטה קפדנית בטמפרטורה, מה שמשפר את איכות העיבוד ומפחית את הפגמים. בתהליך ההקרנה, המנורה מאפשרת עבודה עקבית, עם עוד וואפרים בשעה, מבלי לפגוע בתפוקה.
צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהאנרגיה מגיעה ישירות לחומר ולוואפר, ולא לחימום החדר. האמינות של המערכת ניכרת בפעולה של 5,000 שעות ויותר, עם ירידה בתפוקה של פחות מ-5%, וכך נמנעות זמני עצירה בלתי צפויים.
כמה הערות פרקטיות:
ההתקנה דורשת התאמה של גודל המנורה והחיבורים לכלי RTP שלכם, וכן בדיקה של התאמת מסלול האור. אם הדברים אינם מתאימים, האחידות בטמפרטורה נפגעת. המנורה פועלת בצורה הטובה ביותר בסביבה נקייה ויבשה, ויש לבדוק אותה באופן תקופתי.
זה לא קל, אך המנורה אינה סובלת משינויים פתאומיים במתח החשמלי – יש להגן על מקור החשמל, וכך להגן על זמן הפעולה של המערכת.