Tube de chauffage en quartz à onde moyenne

Fri, 05 Jun 2026 01:17:47 +0800

Sur le sol de fabrication, la cuisson du photoresist n’est pas un échauffement. C’est le gardien du contrôle de largeur de ligne. Laissez une dérive de 2°C apparaître sur la plaquette, et vos dimensions critiques vont changer. Les tubes chauffants en quartz à onde moyenne sont conçus pour arrêter cette dérive avant même qu’elle ne commence.

Ce qui compte, techniquement

Le quartz à onde moyenne émet dans une bande qui se couple proprement aux films de photoresist et de polymère, vous chauffez donc le film - et non les parois de la chambre. Le résultat est une uniformité thermique sub-millimétrique avec une répétabilité sur laquelle vous pouvez compter. En production, cela se traduit par ±0,1°C sur la plaquette au niveau de la surface de cuisson, et des points de consigne qui restent constants d’un lot à l’autre. La géométrie des tubes et l’émissivité sont réglées pour un rampe rapide et contrôlée et un temps de trempage répétable, de sorte que vos profils de cuisson douce et de cuisson dure ne dérivent pas entre les équipes.

Vague on Five-Star Infrared Heating Systems

Tube de chauffage en quartz à onde moyenne

Ce qui compte, techniquement