Dans l’usine de fabrication, on trouve une galette en SiC de 150 mm de diamètre, placée dans la cellule de lithographie, prête pour le traitement par...

Sur le plan de fabrication, les profils de cuisson du photorésiste ne sont pas une simple question de préférence : ils déterminent en réalité si l’on...

Sur la ligne de production, cette plaquette de 300 mm attend son soft bake — l’étape qui verrouille le profil du photoresist. Un dérive de 2°C suffit...