http://ir-heater-star.com/fr/tags/optique/ Recent content in Optique on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo fr Tue, 02 Jun 2026 03:46:21 +0800 http://ir-heater-star.com/fr/posts/optical-wafer-processing-heater/ Tue, 02 Jun 2026 03:46:21 +0800 http://ir-heater-star.com/fr/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Chauffage pour le traitement optique des wafers"></p> <p>Sur la ligne de production, cette plaquette de 300 mm attend son soft bake — l’étape qui verrouille le profil du photoresist. Un dérive de 2°C suffit à compromettre les dimensions critiques et à rejeter tout le lot. Nous avons conçu nos chauffages optiques pour plaquettes afin d’éviter que cela ne se produise.</p> <p>Voici ce qui compte réellement sous le capot.</p> <p>L’unité s’appuie sur des émetteurs infrarouges à ondes courtes (SWIR) dans une chambre optimisée en quartz pour atteindre une uniformité thermique au niveau de la plaquette de ±0,1°C sur toute la surface. Cela maintient les profils de cuisson du photoresist stables, cycle après cycle. La conformité aux classes de salle blanche 1–100 n’est pas un ajout, elle est intégrée dès la conception grâce à des assemblages étanches, des matériaux à faible émission de gaz et un chemin sans particules qui empêche toute contamination dans la zone thermique.</p>