http://ir-heater-star.com/fa/tags/sic/ Recent content in SiC on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo fa Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/fa/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/fa/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="لامپ گرمکن برای فرآوری ویفر SiC"></p> <p>در خط تولید، ویفرهای SiC به قطر ۱۵۰ میلی‌متر در دستگاه لیتوگرافی قرار دارند و آماده فرآیند پختن رزیست فوتوگرافیک هستند. حتی کمترین تغییر در دما می‌تواند باعث اختلال در کنترل ابعاد مهم ویفر شود و هزینه‌های زیادی را برای شما به همراه داشته باشد. بنابراین، لامپ گرمایشی نباید صرفاً منبع گرما باشد؛ بلکه باید مانند یک دستگاه اندازه‌گیری دقیق عمل کند.</p> <p><strong>نکات مهم درباره این لامپ</strong><br> لامپ گرمایشی مورد استفاده برای پردازش ویفرهای SiC، از امیترهای اینفرارد با طول موج کوتاه درون پوشش کوارتز ساخته شده است؛ این امیترها برای پاسخگویی سریع و تولید خروجی پایدار طراحی شده‌اند. در نتیجه، یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حاصل می‌شود؛ همچنین، تکرارپذیری دما نیز در محدوده ±۰.۵ درجه سانتی‌گراد است. تراکم انرژی این لامپ متناسب با الگوهای پختن رزیست فوتوگرافیک است؛ همچنین، پروفایل حرارتی آن حتی پس از ۵٬۰۰۰ ساعت کارکرد نیز تغییری نمی‌کند و کاهش خروجی کمتر از ۵٪ خواهد بود. این لامپ با استانداردهای اتاق‌های تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ همچنین، اتصالات آن به گونه‌ای طراحی شده‌اند که در حین کار، تولید ذرات در آن صفر باشد.</p>