http://ir-heater-star.com/fa/tags/%D8%B3%DB%8C%D9%84%DB%8C%DA%A9%D9%88%D9%86/ Recent content in سیلیکون on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo fa Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800 http://ir-heater-star.com/fa/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800 http://ir-heater-star.com/fa/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="گرمکن TSV (مسیر عبوری از طریق سیلیسیوم)"></p> <p>در فرآیند ساخت TSV، عملیات حکاکی و پر کردن سوراخ‌ها، امکان بروز نوسانات ترمال را از بین می‌برند. تغییر دما در محدوده ۲ درجه سانتی‌گراد در طول فرآیند پخت، باعث اختلال در کنترل ابعاد حیاتی می‌شود و همچنین باعث ایجاد خلأهایی در ساختار TSV می‌گردد. هیتر مورد استفاده برای TSV، یکنواختی دما را در سطح ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد، در طول کل فرآیند حفظ می‌کند.</p> <p><strong>چه چیزهایی اهمیت دارد؟</strong><br> ما هیتر مربوط به TSV را بر اساس لامپ‌های هالوژنی با پاسخگویی سریع ساختیم؛ این لامپ‌ها در طول موج‌های کوتاه NIR کار می‌کنند تا ماده رزیست و سیلیکون بتوانند آن‌ها را مستقیماً جذب کنند. میزان دما در کمتر از یک ثانیه تنظیم می‌شود و نرخ تغییر دما نیز در حدود ۰.۵ درجه سانتی‌گراد بر ثانیه است. این سیستم می‌تواند در اتاق‌های پاکسازی درجه ۱–۱۰۰ کار کند، بدون ایجاد ذرات ناخواسته؛ میزان ذرات در این اتاق‌ها کمتر از ۰.۱ ذره بر سانتی‌متر مربع است. این سیستم قادر به کار ۲۴ ساعته بدون هیچ توقفی است؛ همچنین، کنترل دما به خوبی انجام می‌شود، بنابراین ساختار TSV و لایه‌های محافظ آن دچار خطر نمی‌شوند.</p>