http://ir-heater-star.com/fa/tags/%D8%AA%D8%B1%D9%85%D9%88%DA%A9%D9%88%D9%BE%D9%84/ Recent content in ترموکوپل on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo fa Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/fa/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/fa/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ترموکوپل برای هیتر نیمههادی"></p> <p>در خط تولید، دما فقط یک عدد نیست—بلکه مرز بین تولید محصول قابل قبول و ضایعات است. انحراف 0.5°C در صفحه گرم می‌تواند فرآیند نرم‌پخت فوتورزیست را از محدوده مشخص خارج کند. اگر سخت‌پخت را چند درجه بالاتر از حد تنظیم شده انجام دهید، کاهش CD و ایجاد آلودگی (scumming) مشاهده خواهید کرد. لیتوگرافی و فرآیندهای فوتورزیست تحمل بودجه حرارتی را ندارند و اتاق تمیز نیز خطاهای زیادی را نمی‌پذیرد.</p> <p><strong>آنچه زیر کاپوت اهمیت دارد</strong><br> ترموکوپل را با هندسه هیتر مطابقت می‌دهیم تا مستقیماً در نقطه‌ای که اهمیت دارد اندازه‌گیری کند. هدف، یکنواختی حرارتی در سطح ویفر با دقت ±0.1°C در کل بازه فرآیند است. هندسه اتصال و پوسته به گونه‌ای انتخاب شده‌اند که خطای هدایت و خودگرم‌شدگی کاهش یابد، بنابراین دقت نقطه تنظیم در طول افزایش دما و نگهداری دما حفظ می‌شود. مواد و ساختار برای اتاق‌های تمیز کلاس 1–100 طراحی شده‌اند، با سطوحی که تولید ذرات را به حداقل و خروج گازها را کنترل می‌کنند. دستگاه به صورت مداوم پایدار باقی می‌ماند تا تکرارپذیری بین هر بار اجرای فرآیند حفظ شود.</p>