در این سیستم، نوسانات دمای صفحه AFM به عنوان نویز در اندازهگیریها ظاهر میشود. تغییر دما در حد نیم درجه کافی است تا موقعیت لبهها تغییر کند، پروفایلهای فوتورزیست نادرست شوند و محصولات با کیفیت مجبور به بازسازی شوند. ما هیتر AFM را به گونهای طراحی کردهایم که پروب و نمونه را در دمای مشخص نگه دارد، بدون اینکه سیستم مجبور به تعدیل مداوم دما شود.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما بر روی پاسخ سریع و پایدار، و همچنین یکنواختی بالا تمرکز کردهایم. این دستگاه از موجهای مادون قرمز کوتاه برای انتقال انرژی استفاده میکند؛ همچنین از پنجره کوارتزی برای انتقال انرژی به صورت پاک استفاده میشود. این دستگاه ۱۵۰ وات انرژی تولید میکند و در فضای کوچکی قرار میگیرد. این دستگاه دارای سیستم بازخورد بسته است؛ سنسورهای تنظیمشده، دمای منطقه اندازهگیری را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد نگه میدارند. بدنه این دستگاه سازگار با فضاهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ از موادی با انتشار گاز کم و سطحی استفاده شده است که باعث ایجاد ذرات نمیشود. قابلیت تکرار اندازهگیریها نیز در محدوده ±۰.۰۵ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین، رابطه بین فرآیندهای حرارتی مختلف در هر دسته از محصولات یکنواخت خواهد بود.
دلیل عملکرد خوب این دستگاه در فرآیندهای لیتوگرافی و اندازهگیری فوتورزیست این است که این هیتر، ویفر را قبل از اسکن در دمای مشخص نگه میدارد؛ بنابراین نیازی به تعدیل مداوم دما نیست. در فرآیندهای بستهبندی، این دستگاه به شما امکان ارزیابی دقیق ویژگیهای حرارتی محصولات را میدهد؛ بدون اینکه باعث آسیب به ساختارهای نازک شود. نتیجه این کار، کاهش تعداد تلاشهای مجدد، کاهش مقدار مواد بیکاربرد، و حفظ ثبات دمایی است. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا تنظیم سریع دما و مصرف انرژی کم، باعث میشود که اتاق کار همواره در حالت آماده باقی بماند.
نصب این دستگاه ساده است؛ اما مهمترین موضوع، اتصال حرارتی مناسب است. صفحه AFM نیاز به سطحی صاف و تمیز دارد؛ حتی کوچکترین فاصله هوایی نیز میتواند باعث اختلال در یکنواختی دما شود. این هیتر با اکثر پلتفرمهای AFM سازگار است؛ اما برای اتصال به کنترلرهای قدیمی، ممکن است نیاز به کانکتور مناسب و جدول تنظیمات وجود داشته باشد. پس از نصب، باید دمای صفحه AFM را با سنسورهای اتاق کار مقایسه کرد و سپس پروفایل مربوطه را ثابت کرد.