Secador FOUP (Front Opening Unified Pod)

Tue, 30 Jun 2026 01:29:28 +0800

En la área de litografía, el FOUP sigue transportando una fina capa de agua proveniente del último proceso de limpieza. Si el proceso de secado no se realiza adecuadamente, el perfil del fotoresistente cambia, y eso afecta negativamente el control de las dimensiones críticas, incluso antes de que comience la exposición. Se necesita un secador de FOUP que elimine la humedad y mantenga una temperatura constante, sin necesidad de hacer conjeturas.

Lo que realmente importa Utilizamos radiación infrarroja de onda media para lograr un calentamiento rápido y directo, sin que las partículas se dispersen. La uniformidad a nivel de los wafers se mantiene dentro de un rango de ±0.1°C, lo que significa que cada wafer recibe la misma cantidad de calor durante los procesos de secado. La compatibilidad con salas limpias de clase 1–100 se logra gracias a sistemas de circulación de aire sellados y materiales que emiten pocas sustancias, lo cual reduce la cantidad de partículas presentes. El calentador está diseñado para funcionar 24/7, y controlamos su fiabilidad mediante el tiempo de funcionamiento y los intervalos de mantenimiento, no mediante estrategias de marketing.

Unificado on Five-Star Infrared Heating Systems

Secador FOUP (Front Opening Unified Pod)