Lámpara de tubo doble recubierta en oro

Sat, 18 Jul 2026 01:48:30 +0800

Mantener una sala limpia de clase 100 realmente limpia
Cuando se opera una sala limpia de clase 100, “casi limpia” no es suficiente. Un pequeño grano de polvo o un poco de gas que emite un elemento calefactor puede destruir una oblea semiconductor o un implante médico en cuestión de segundos. Es un verdadero desastre.

Por eso utilizamos lámparas de cuarzo de alta pureza con recubrimiento de oro. Puede sonar complicado, pero la razón es bastante simple.

Tubo de calefacción de cuarzo de onda media

Fri, 05 Jun 2026 01:17:47 +0800

En el piso de fabricación, el horneado del fotoresistente no es un calentamiento. Es el guardián del control del ancho de línea. Si se presenta un desplazamiento de 2 °C en la oblea, sus dimensiones críticas se verán afectadas. Los tubos calefactores de cuarzo de onda media están diseñados para detener ese desplazamiento antes de que comience.

Lo que importa, técnicamente

El cuarzo de onda media emite en una banda que se acopla limpiamente a las películas de fotoresistente y polímero, por lo que se está calentando la película, no las paredes de la cámara. La recompensa es una uniformidad térmica submilimétrica con una repetibilidad en la que puede confiar. En producción, eso se traduce en ±0.1 °C en toda la oblea en la superficie de horneado, y puntos de ajuste que se mantienen constantes lote tras lote. La geometría del tubo y la emisividad están ajustadas para una rampa rápida y controlada y un empapado repetible, por lo que sus perfiles de horneado suave y horneado duro no se desvían entre turnos.

Tubo on Five-Star Infrared Heating Systems

Lámpara de tubo doble recubierta en oro

Tubo de calefacción de cuarzo de onda media

Lo que importa, técnicamente