Procesamiento on Five-Star Infrared Heating Systems

Lámpara calefactora para el procesamiento de obleas de SiC

Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800

En la planta de fabricación, hay una oblea de SiC de 150 mm que se encuentra dentro de la celda de litografía, lista para ser sometida al proceso de secado del fotopolímero. Cualquier cambio en la temperatura, aunque sea de unos pocos grados, puede afectar negativamente el control de las dimensiones críticas de la oblea, lo cual resultaría en costos elevados. Por eso, la lámpara de calentamiento no puede ser simplemente una fuente de calor; debe funcionar como un instrumento térmico preciso y confiable.

Lámpara de infrarrojos para el procesamiento de grafeno

Sat, 20 Jun 2026 01:57:28 +0800

En la planta de fabricación, los parámetros de secado del fotoreactivos no son una cuestión de preferencia, sino algo crucial para determinar si se podrá obtener un producto de calidad o si todo tendrá que ser descartado. Una desviación de 2°C durante el proceso de secado puede causar problemas en las superficies de los chips, generando defectos y haciendo inviable el proceso completo. Por eso, hemos diseñado nuestras lámparas infrarrojas para grafeno con el fin de eliminar esa incertidumbre.

Calentador para el procesamiento óptico de obleas

Tue, 02 Jun 2026 03:46:21 +0800

En la línea, esa oblea de 300mm espera su soft bake—el paso que fija el perfil del fotoresistente. Un desvío de 2°C es suficiente para comprometer las dimensiones críticas y descartar todo el lote. Construimos nuestros calentadores ópticos para procesamiento de obleas para evitar que eso suceda.

Esto es lo que realmente importa bajo el capó.

La unidad se basa en emisores de infrarrojo de onda corta (SWIR) dentro de una cámara mejorada con cuarzo para alcanzar una uniformidad térmica a nivel de oblea de ±0.1°C en toda la superficie. Eso mantiene los perfiles de cocción del fotoresistente estables, ciclo tras ciclo. La conformidad con la Clase 1–100 de sala limpia no es un añadido; está integrada en el diseño con ensamblajes sellados, materiales de baja emisión de gases y un camino libre de partículas que evita la contaminación en la zona térmica.