Infrarotheizer für Vakuumkammern

Fri, 17 Jul 2026 01:41:41 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihr Heizer Ihre Vakuumumgebung ruiniert!
Führen Sie ein Reinraumumfeld der Klasse 100, dann kennen Sie sicherlich das Problem der Partikelfreisetzung oder des Chemikalienaustretens. Schon ein kleiner Schmutzpartikel kann dazu führen, dass die gesamte Charge unbrauchbar wird.

Das Problem ist, dass die meisten Standardheizgeräte dafür nicht geeignet sind. Sie verwenden Klebstoffe, billige Beschichtungen oder Metalle, die unter Hitze zerfallen und somit Kontaminanten in den Vakuumraum bringen.

Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Hochreinen synthetischen Quarz-Infrarotlampen.
Das Geheimnis liegt in den Materialien
Wir verwenden gefügten Siliziumquarz. Er ist außergewöhnlich rein – daher müssen Sie sich keine Sorgen darüber machen, dass flüchtige organische Verbindungen bei erhöhter Temperatur entweichen. Im Gegensatz zu normalem Glas bricht dieser Quarz auch nicht, wenn die Temperatur stark schwankt. Zudem haben wir alle organischen Bindemittel aus dem Gerät entfernt. Warum? Weil man beim Erreichen des Vakuums möchte, dass der Heizer weiterhin leise arbeitet – ohne Kontaminanten und ohne beschädigte Bauteile.

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Thu, 16 Jul 2026 01:26:10 +0800

Warum Vakuum-Infrarotheizer für moderne Halbleiterfabriken die bessere Wahl sind

Die Halbleiterindustrie strebt nach Zielen wie „bleifreien“ Produktionsprozessen sowie „Null-Emissionen“. Lange Zeit haben wir auf große Konvektionsöfen zurückgegriffen. Doch das hat Nachteile: Das Erwärmen großer Mengen an Luft ist energieverschwendend. Schlimmer noch: Die bewegte Luft dient im Grunde als Transportweg für Staub und Partikel, die die Wafern zerstören können.

Deshalb haben wir auf vakuumkompatible Infrarotheizer umgestellt. Dadurch wird der gesamte Prozess effizienter.

Wie es funktioniert Im Vakuum kann man Wärme nicht mit Luft übertragen – das ist physikalisch unmöglich. Deshalb nutzen wir Strahlung. Stellen Sie sich vor, die Sonne scheint auf Ihre Haut. Infrarotlampen senden elektromagnetische Wellen aus, die direkt durch das Substrat gehen und das Material selbst erwärmen. So wird keine Energie mit dem Erwärmen der Wände der Kammer oder der umgebenden Luft verschwendet. Keine gekühlte Luft, keine aufwändigen Filterysteme – nur direkte Energieübertragung.

Vakuum on Five-Star Infrared Heating Systems

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Vakuumkompatibler Infrarotheizer