Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Sun, 26 Jul 2026 12:00:10 +0800

Sicherheit gewährleisten: Infrarotlampen bei der chemischen Reinigung von Wafern
Wenn man mit Werkzeugen für die chemische Reinigung von Wafern arbeitet, hat man es im Grunde genommen mit flüchtigen, brennbaren Lösungsmitteln zu tun. In einer solchen Umgebung ist eine herkömmliche Infrarotlampe nicht nur ein Werkzeug – sie stellt auch eine Gefahr dar. Schon eine kleine Stichflamme oder ein heißer Punkt an den Steckkontakten kann zu einer ernsthaften Explosion führen.

Um diesem Problem entgegenzuwirken, verzichten wir ganz auf offene Lampen. Stattdessen verwenden wir Lampen mit versiegelten Gehäusen.

Infrarotlampenfassung für Wafer Werkzeug

Tue, 09 Jun 2026 00:56:58 +0800

Auf der Wafer-Ebene bedeutet thermische Drift während des Photolack-Prebake oder Wafer-Trocknung nicht nur einen Einfluss auf die Liniengeschwindigkeit. Sie führt zu Defekten auf dem Wafer – Defekten, die Sie sich nicht leisten können.
Infrarotlampenfassungen für Wafer-Werkzeuge sind auf eine Aufgabe ausgelegt: die Prozesstemperatur dort zu halten, wo sie sein muss – stabil, reproduzierbar und innerhalb des thermischen Budgets des Films.

Was unter der Haube tatsächlich zählt
Wir verwenden kurzwellige Infrarotstrahler in Kombination mit einer Quarzfassung und Reflektorgeometrie, die die Wärme schnell und gezielt dorthin bringt, wo sie benötigt wird – ohne Hotspots.
Das ergibt eine Wafer-Uniformität von ±0,1°C über die gesamte Backzone. Die Aufheizphase ist kontrolliert, sodass Lösungsmittel während des Softbake den Photolack sauber ausdampfen und das Lackprofil nach dem Hardbake stabil bleibt.
Die Fassungsschnittstelle ist so ausgelegt, dass sie sich in Werkzeuge integrieren lässt: kompakte Bauform, standardisierte Montage und zuverlässiger elektrischer Kontakt. Der Vorteil ist eine konstante Leistung Lot für Lot.

```Python on Five-Star Infrared Heating Systems

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Infrarotlampenfassung für Wafer Werkzeug