http://ir-heater-star.com/de/tags/optisch/ Recent content in Optisch on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo de Tue, 02 Jun 2026 03:46:21 +0800 http://ir-heater-star.com/de/posts/optical-wafer-processing-heater/ Tue, 02 Jun 2026 03:46:21 +0800 http://ir-heater-star.com/de/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Optischer Wafer Verarbeitungsofen"></p> <p>Out on the line, sitzt die 300mm-Wafer und wartet auf ihren Softbake—der Schritt, der das Photoresist-Profil fixiert. Eine Drift von 2°C reicht aus, um kritische Dimensionen zu zerstören und die gesamte Charge auszuschießen. Unsere optischen Wafer-Prozessheizer wurden entwickelt, um genau das zu verhindern.</p> <p>Hier ist, was unter der Haube tatsächlich zählt.</p> <p>Die Einheit nutzt kurzwellige Infrarotstrahler (SWIR) in einer quarzverstärkten Kammer, um eine Wafer-übergreifende thermische Gleichmäßigkeit von ±0,1°C über die gesamte Oberfläche zu erreichen. Das sichert die Einhaltung der Photoresist-Backprofile, Zyklus für Zyklus. Die Einhaltung der Reinraumklasse 1–100 ist kein Add-on; sie ist im Design verankert durch <a href="https://o-yate.net">dichte</a> Baugruppen, Materialien mit geringem Ausgasungsverhalten und einen partikelfreien Pfad, der Kontamination aus der thermischen Zone ausschließt.</p>