Ersatz für Nikon Stepperlampe

Fri, 19 Jun 2026 02:06:13 +0800

Auf der Lithografieebene führt eine Nikon-Stepperlampe, deren Leuchtkraft oder Temperaturprofil nicht konstant ist, dazu, dass das Licht abnimmt. Dadurch wird die Belichtung beeinträchtigt – und der Fotolack verhält sich während des Weich- und Hartbrennvorgangs unvorhersehbar. Die Folge sind Schwankungen in der Linienbreite, Reste des Films sowie ein Rückgang der Produktivität. All das liegt an einem Komponenten, den die meisten Menschen übersehen.

Was technisch wirklich wichtig ist:
Wir wählen Ersatzlampen für Nikon-Steppermodelle mit stabilen Halogenquellen sowie Quarzgehäusen aus. Zudem sollte die Ausstrahlung von Kurzwellen- und Mittelwellenlicht genau kontrolliert werden – passend zum optischen Weg sowie zum thermischen Bedarf des Steppers. Dadurch bleibt die Temperatur auf der Wafer-Oberfläche bei ±0,1°C konstant. Dadurch bleiben die Profile beim Weich- und Hartbrennvorgang reproduzierbar. Die Lampen eignen sich für Reinräume der Klasse 1–100: Sie erzeugen kaum Gase, es entstehen keine Partikel, und durch die versiegelte Bauweise bleiben die Partikelanzahlen gering und Defekte minimiert. So erhalten Sie zuverlässige Leistung 24/7 – mit einer Lebensdauer von über 5.000 Stunden und konstanter Leuchtstärke. Dadurch werden die Belichtungs- und Brennvorgänge nicht unterbrochen.

Nikon on Five-Star Infrared Heating Systems

Ersatz für Nikon Stepperlampe