http://ir-heater-star.com/de/tags/mems/ Recent content in MEMS on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo de Mon, 13 Jul 2026 16:51:26 +0800 http://ir-heater-star.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 16:51:26 +0800 http://ir-heater-star.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafern"></p> <p><strong>Hören Sie auf, die Luft zu erhitzen: Eine bessere Methode zur Trocknung von MEMS-Wafern</strong><br> Wer bereits Erfahrung in der Herstellung von MEMS-Wafern hat, kennt das Problem der Trocknung dieser Wafern. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem: Man möchte, dass die Wafern völlig trocken und frei von Rückständen sind – doch man kann sie nicht einfach mit Hitze bestrahlen, denn sonst verformt sich die Waferstruktur.</p>