http://ir-heater-star.com/de/tags/medium/ Recent content in Medium on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo de Fri, 05 Jun 2026 01:17:47 +0800 http://ir-heater-star.com/de/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ Fri, 05 Jun 2026 01:17:47 +0800 http://ir-heater-star.com/de/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Mittelwellen Quarzheizrohr"></p> <h1 id="auf-dem-fertigungsboden-ist-das-backen-des-fotoresists-kein-aufwärmen-es-ist-der-torwächter-für-die-linienbreitenkontrolle-lassen-sie-eine-drift-von-2-c-über-den-wafer-erscheinen-und-ihre-kritischen-dimensionen-verschieben-sich-mittlere-wellenquarzheizrohre-sind-so-konstruiert-dass-sie-diese-drift-stoppen-bevor-sie-überhaupt-beginnt">Auf dem Fertigungsboden ist das Backen des Fotoresists kein Aufwärmen. Es ist der Torwächter für die Linienbreitenkontrolle. Lassen Sie eine Drift von 2 °C über den Wafer erscheinen, und Ihre kritischen Dimensionen verschieben sich. Mittlere Wellenquarzheizrohre sind so konstruiert, dass sie diese Drift stoppen, bevor sie überhaupt beginnt.</h1> <h2 id="was-technisch-wichtig-ist">Was technisch wichtig ist</h2> <p>Mittlere Wellenquarz strahlt in einem Bereich aus, der sauber in Fotoresist- und Polymerfilme koppelt, sodass Sie den Film erhitzen – nicht die Kammerwände. Der Vorteil ist eine thermische Gleichmäßigkeit im Sub-Millimeter-Bereich mit einer Wiederholbarkeit, auf die Sie sich verlassen können. In der Produktion bedeutet das ±0,1 °C über den Wafer an der Backoberfläche und Sollwerte, die von Charge zu Charge konstant bleiben. Die Geometrie der Rohre und die Emissivität sind auf einen schnellen, kontrollierten Anstieg und ein wiederholbares Einweichen abgestimmt, sodass Ihre Soft-Bake- und Hard-Bake-Profile zwischen den Schichten nicht driften.</p>