Ersatzteil für ASML Lithografielampe

Sat, 27 Jun 2026 01:21:03 +0800

In der Fertigungshalle gilt folgendes Prinzip: Jede Abweichung von 0,2 °C bei der Temperatur des Fotolackes führt dazu, dass die Kontrolle über die wichtigsten Dimensionen beeinträchtigt wird – was wiederum zu hohen Verlusten an Wafern führt. Man benötigt daher Ersatzlampen, die als fester thermischer Referenzpunkt fungieren, und nicht als variabler Faktor. Unsere ASML-Lithografielampen-Ersatzteile erfüllen genau diese Anforderungen – sie garantieren eine konstante Temperatur, die den Anforderungen Ihres Herstellungsprozesses entspricht.

Was wirklich wichtig ist
Wir entwickeln Lampen, die eine stabile, wiederholbare Wärmeabgabe ermöglichen. Kurzwellige Halogenelemente, eingebettet in hochreinen Quarz, sorgen für eine schnelle Reaktion sowie eine präzise Steuerung des Spektrums – dadurch bleibt die Erwärmung der Wafer konstant. Die thermische Homogenität innerhalb der Erhitzungszone liegt bei ±0,1 °C – das hilft dabei, die Gleichmäßigkeit der Linienbreite zu gewährleisten und Abweichungen innerhalb einer Charge zu reduzieren. Die Lampen sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet und erzeugen während des Betriebs keine Partikel – dadurch bleibt die Produktivität bei der Lithografie gewahrt. Man kann mit einer langen Lebensdauer rechnen – mindestens 5.000 Stunden bei weniger als 5 % Leistungsabfall – sowie mit Leistungsprofilen, die den thermischen Anforderungen der ASML-Plattform entsprechen.

Lithografie on Five-Star Infrared Heating Systems

Ersatzteil für ASML Lithografielampe