Heizer für AFM (Atomkraftmikroskop)

Wed, 17 Jun 2026 11:18:54 +0800

Bei der AFM-Plattform führt eine Temperaturänderung dazu, dass Messfehler entstehen – ganz einfach. Schon eine Änderung von einem halben Grad reicht aus, um die genaue Positionierung der Kanten zu stören, die Profile des Fotolithigs zu verfälschen und gute Produktchargen zur Nachbearbeitung zu zwingen. Wir haben den Heizer so konstruiert, dass er die Sonde sowie das Probenmaterial bei der festgelegten Temperatur hält – ohne dass das System ständig versucht, diese Temperatur wiederherzustellen.

Was wirklich wichtig ist
Wir haben uns auf eine schnelle, stabile Reaktion sowie eine hohe Gleichmäßigkeit konzentriert. Der Heizer arbeitet mit Kurzwell-infrarotstrahlung und verfügt über ein Quarzfenster für eine saubere Übertragung der Strahlung. Er liefert 150 Watt Leistung in kompaktem Format. Es handelt sich dabei um einen geschlossenen Regelkreis – ein kalibriertes Sensor sorgt dafür, dass die Messzone innerhalb von ±0,1°C bleibt. Der Heizer ist für Reinrooms der Klasse 1–100 geeignet; er verwendet Materialien mit geringer Gasemission sowie eine Oberfläche, die keine Partikel freisetzt. Die Wiederholgenauigkeit bleibt auch nach thermischen Zyklen bei ±0,05°C – dadurch bleiben die Ergebnisse von Charge zu Charge konstant.

(Aтомar) on Five-Star Infrared Heating Systems

Heizer für AFM (Atomkraftmikroskop)