Bei der AFM-Plattform führt eine Temperaturänderung dazu, dass Messfehler entstehen – ganz einfach. Schon eine Änderung von einem halben Grad reicht aus, um die genaue Positionierung der Kanten zu stören, die Profile des Fotolithigs zu verfälschen und gute Produktchargen zur Nachbearbeitung zu zwingen. Wir haben den Heizer so konstruiert, dass er die Sonde sowie das Probenmaterial bei der festgelegten Temperatur hält – ohne dass das System ständig versucht, diese Temperatur wiederherzustellen.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben uns auf eine schnelle, stabile Reaktion sowie eine hohe Gleichmäßigkeit konzentriert. Der Heizer arbeitet mit Kurzwell-infrarotstrahlung und verfügt über ein Quarzfenster für eine saubere Übertragung der Strahlung. Er liefert 150 Watt Leistung in kompaktem Format. Es handelt sich dabei um einen geschlossenen Regelkreis – ein kalibriertes Sensor sorgt dafür, dass die Messzone innerhalb von ±0,1°C bleibt. Der Heizer ist für Reinrooms der Klasse 1–100 geeignet; er verwendet Materialien mit geringer Gasemission sowie eine Oberfläche, die keine Partikel freisetzt. Die Wiederholgenauigkeit bleibt auch nach thermischen Zyklen bei ±0,05°C – dadurch bleiben die Ergebnisse von Charge zu Charge konstant.
Der Heizer eignet sich daher besonders gut für die Lithografie- und Fotolithigrammetrie: Er stabilisiert das Wafer vor dem Scannen – dadurch müssen Sie nicht mit den durch Temperaturschwankungen verursachten Schwankungen im Abstand zwischen den Linien kämpfen. Im Bereich der Verpackung ermöglicht er eine kontrollierte thermische Charakterisierung von Unterfüllstoffen und Zwischenschichten – ohne dass dünne Strukturen beschädigt werden. Dadurch entstehen weniger Fehler, weniger Ausschuss und die thermischen Bedingungen bleiben stabil. Auch der Energieverbrauch sinkt – dank schneller Erwärmung und niedrigem Standby-Verbrauch bleibt die Kammer stets einsatzbereit, ohne unnötige Wärmeentwicklung.
Die Installation ist einfach – doch die richtige thermische Kopplung ist entscheidend. Die Plattform benötigt eine ebene, saubere Oberfläche; schon ein kleiner Luftspalt beeinträchtigt die Gleichmäßigkeit. Der Heizer funktioniert mit den meisten AFM-Plattformen – allerdings kann die Integration in ältere Steuerungen eine geeignete Verbindung sowie eine Kalibrierungstabelle erfordern. Führen Sie zunächst eine kurze Kalibrierung durch, um die Temperatur der Plattform in Beziehung zu den Sensoren der Kammer zu bringen – anschließend können Sie den gewünschten Wert festlegen.