http://ir-heater-star.com/cs/tags/sic/ Recent content in SiC on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo cs Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/cs/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/cs/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Žárovka pro zahřívání při zpracování destiček SiC"></p> <p>V prostoru určeném k zpracování polovodičových desek se nachází wafer z materiálu SiC o rozměrech 150 mm, který je připraven k zpracování v lithografické jednotce. I náznak změny teploty o několik stupňů může narušit kontrolu kritických rozměrů a způsobit velké ztráty. Proto nemůže být topná lampa pouhou zdrojem tepla – musí fungovat jako precizní termální zařízení.</p> <p><strong>Co je důležité</strong><br> Topnou lampu pro zpracování waferů z materiálu SiC jsme navrhli s využitím krátkovlnných infračervených halogenových zdrojů umístěných v křemenném obalu. Tento design zajišťuje rychlou odezvu a stabilní výstup. Dosahuje se tak rovnoměrnosti teploty na úrovni waferu v rozmezí ±0,1 °C v celé oblasti zpracování. Opakovatelnost hodnoty teploty je pak ±0,5 °C mezi jednotlivými šarhami. Hustota energie odpovídá požadavkům na jemné i intenzivní zpracování fotorezistentu. Termální profil zůstává stabilní i po 5 000 hodinách provozu, přičemž pokles výstupní síly je menší než 5 %. Balení je kompatibilní s prostředím typu Clean Room 1–100, s spoji a izolací, které zabrání vzniku částic během provozu.</p>