http://ir-heater-star.com/cs/tags/pl%C3%A1tek/ Recent content in Plátek on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo cs Tue, 02 Jun 2026 03:46:21 +0800 http://ir-heater-star.com/cs/posts/optical-wafer-processing-heater/ Tue, 02 Jun 2026 03:46:21 +0800 http://ir-heater-star.com/cs/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Topné těleso pro optické zpracování waferů"></p> <p>Venku na lince čeká 300mm wafer na svůj soft bake – krok, který uzamyká profil fotoresistu. Posun o 2°C stačí k rozhození kritických rozměrů a k vyřazení celé série. Naše optické ohřívače pro zpracování waferů jsou navrženy tak, aby tomu zabránily.</p> <p>Zde je to, co skutečně pod kapotou rozhoduje.</p> <p>Zařízení využívá krátkovlnné infračervené (SWIR) emitery uvnitř komory s křemenným vylepšením, aby dosáhlo teplotní uniformity waferu ±0,1°C po celé ploše. To udržuje profily pečení fotoresistu stabilní, cyklus za cyklem. Splnění čistoty cleanroom třídy 1–100 není přidaná hodnota; je zabudováno v konstrukci díky utěsněným sestavám, materiálům s nízkým výtokem plynů a bezčásticové cestě, která brání kontaminaci tepelné zóny.</p>