http://ir-heater-star.com/bn/tags/%E0%A6%B8%E0%A6%BF%E0%A6%B2%E0%A6%BF%E0%A6%95%E0%A6%A8/ Recent content in সিলিকন on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo bn Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800 http://ir-heater-star.com/bn/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800 http://ir-heater-star.com/bn/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="টিএসভি (থ্রু সিলিকন ভিয়া) হিটার"></p> <p>ফ্যাব ফ্লোরে, TSV ইটচ ও ফিল প্রক্রিয়ার ফলে থার্মাল ড্রিফটের কোনো সুযোগ থাকে না। ফটোরেজিস্ট বেক প্রক্রিয়ায় ২°C এর মতো তাপমাত্রার পরিবর্তন হলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণ ভেঙে যায়; ফলে ভিয়া ফিলে ফাঁক তৈরি হয়। TSV হিটারটি পুরো প্রক্রিয়া জুড়ে ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±০.১°C এর মধ্যে রাখে।</p> <p><strong>কী গুরুত্বপূর্ণ?</strong><br> আমরা TSV হিটারটিকে দ্রুত-প্রতিক্রিয়াশীল হ্যালোজেন ল্যাম্পগুলোর উপর ভিত্তি করে তৈরি করেছি; এগুলো শর্ট-ওয়েভ NIR তরঙ্গদৈর্ঘ্যে কাজ করে, যাতে রেজিস্ট ও সিলিকন সরাসরি এগুলো শোষণ করতে পারে। তাপমাত্রা সেটপয়েন্টগুলো কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই নির্ধারিত হয়; র্যাম্প রেটগুলো ০.৫°C/সেকেন্ডের মধ্যে থাকে। এই সিস্টেমটি Class 1–100 ক্লিনরুমগুলোতে কাজ করে; এখানে ≤০.১ পার্টিকেল/সেমি² এর মতো কম পরিমাণে পার্টিকেল থাকে। এটি ২৪/৭ ঘন্টা কাজ করার জন্য উপযুক্ত; থার্মাল বাজেটও নিয়ন্ত্রণে থাকে, ফলে ভিয়াগুলোর অখণ্ডতা ও ব্যারিয়ার লেয়ারগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয় না।</p>