http://ir-heater-star.com/bn/tags/%E0%A6%B8%E0%A6%BF%E0%A6%86%E0%A6%87%E0%A6%B8%E0%A6%BF/ Recent content in সিআইসি on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo bn Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/bn/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/bn/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="সিআইসি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য হিটার ল্যাম্প"></p> <p>ফ্যাব ফ্লোরে, ১৫০ মিমি আকারের SiC ওয়েফারগুলো লিথোগ্রাফি সেলে রাখা থাকে; এগুলো ফটোরেজিস্ট বেক প্রক্রিয়ার জন্য প্রস্তুত থাকে। মাত্র কয়েক ডিগ্রি তাপমাত্রার পরিবর্তনও ওয়েফারের আকার নিয়ন্ত্রণকে ব্যাহত করতে পারে; এর ফলে ব্যয়ও বেড়ে যায়। তাই হিটার ল্যাম্পটি শুধুমাত্র তাপ উৎপন্ন করার জন্য ব্যবহৃত হয় না—এটা অবশ্যই একটি নির্ভরযোগ্য তাপীয় যন্ত্র হিসেবে কাজ করতে হবে।</p> <p><strong>কী গুরুত্বপূর্ণ?</strong><br> আমরা SiC ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য এমন হিটার ল্যাম্প তৈরি করেছি, যেখানে কোয়ার্টজ আবরণে স্বল্প-তরঙ্গদৈর্ঘ্যের ইনফ্রারেড হ্যালোজেন এমিটার ব্যবহৃত হয়েছে। এর ফলে বেক জোনে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; আর লট থেকে লটে তাপমাত্রার পরিবর্তন ±০.৫°C এর মধ্যে থাকে। পাওয়ার ডেনসিটি ফটোরেজিস্ট সফ্ট/হার্ড বেক প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত; আর ৫,০০০ ঘণ্টারও বেশি সময় ধরে এটা কাজ করতে পারে, আউটপুট হ্রাস হয় মাত্র ৫% এর মধ্যে। এটা ক্লাস ১–১০০ এর ক্লিনরুমে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত; এর বন্ধনীগুলো অপারেশনের সময় কোনো ধূলিকণা উৎপন্ন না হওয়ার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।</p>