Trên khu vực sản xuất, quy trình khắc và lấp đầy các lỗ TSV không để lại chỗ cho sự thay đổi nhiệt độ. Sự thay đổi nhiệt độ 2°C trong quá trình nung phim chống quang hóa có thể làm mất kiểm soát các thông số kỹ thuật quan trọng, đồng thời tạo ra những khoảng trống trong các lỗ TSV. Bộ gia nhiệt dùng để điều chỉnh nhiệt độ giúp duy trì mức độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer, với độ lệch không quá ±0,1°C trong suốt toàn bộ quy trình.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt này dựa trên các bóng đèn halogen có khả năng phản ứng nhanh, hoạt động ở bước sóng ngắn trong vùng hồng ngoại, giúp phim chống quang hóa và silicon hấp thụ nhiệt một cách hiệu quả. Nhiệt độ có thể được điều chỉnh trong vòng vài phần giây, và tốc độ thay đổi nhiệt độ được kiểm soát ở mức 0,5°C/giây. Hệ thống hoạt động tốt trong môi trường sạch loại 1–100, với số lượng hạt bụi không quá 0,1 hạt/cm². Hệ thống này có thể hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố nào, đồng thời kiểm soát được nhiệt độ, giúp duy trì tính toàn vẹn của các lỗ TSV và các lớp bảo vệ.
Tại sao điều này lại quan trọng trong việc sản xuất TSV Khi sản xuất các lỗ TSV với khoảng cách giữa các lỗ gần nhau và lớp cách điện mỏng, bộ gia nhiệt này giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer. Nhờ đó, quy trình in ấn diễn ra ổn định, giảm thiểu việc phải sửa chữa lại, đồng thời đảm bảo tính an toàn của các lỗ TSV. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì bóng đèn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng và ổn định, giúp rút ngắn thời gian sản xuất mà không cần hy sinh chất lượng.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Việc lắp đặt yêu cầu phải có sự căn chỉnh chính xác về mặt quang học, cùng với hệ thống thoát khí hiệu quả để xử lý khí thải trong quá trình nung. Bộ gia nhiệt này hoạt động tốt với các giao diện tiêu chuẩn, nhưng do những hạn chế về kích thước của các thiết bị cũ, có thể cần sử dụng bộ chuyển đổi riêng. Cần tiến hành thử nghiệm ngắn để xác định mức nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer và điều chỉnh các thông số cần thiết. Một khi mọi thứ đã được đặt vào trạng thái ổn định, quy trình sản xuất sẽ diễn ra một cách nhất quán từ ca này sang ca khác.