Trên dây chuyền sản xuất có chiều dài 300mm, bộ lập trình không ngừng hoạt động chỉ vì giá trị trong các thông số quy trình nung bị thay đổi. Ngay cả sự sai lệch nhỏ 0,5 độ cũng có thể gây ra sự biến đổi kích thước đường kính của vật liệu được xử lý, từ đó dẫn đến việc phải vứt bỏ sản phẩm. Lò nung kiểu đối lưu lại gây khó khăn về mặt không gian và thời gian xử lý; còn các bảng điện nhiệt thì tạo ra sự chênh lệch nhiệt độ giữa các vùng trên bề mặt vật liệu, khiến bạn phải đánh đổi giữa chất lượng sản phẩm và tốc độ sản xuất – điều mà bạn không thể chấp nhận được.
Những yếu tố quan trọng thực sự Chúng tôi thiết kế bộ phát tia hồng ngoại theo một nguyên tắc cơ bản: đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer, chứ không chỉ ở mức trung bình. Tia hồng ngoại ngắn bước sóng đi qua cửa sổ thạch anh đã được điều chỉnh sao cho ánh sáng được hấp thụ hiệu quả bởi lớp phim phản quang. Điều này giúp tránh tình trạng nhiệt độ vượt quá mức cho phép.
Kết quả là độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer đạt mức ±0,1°C, với thời gian phản ứng chỉ trong vài miligiây. Bộ phát tia hồng ngoại có thể hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100, vì bộ phận này được đóng kín hoàn toàn – lượng hạt bụi sinh ra gần như bằng không, và quá trình thoát khí cũng được kiểm soát chặt chẽ, giúp bảo vệ lớp phim phản quang.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong sản xuất Trong quá trình sản xuất, bộ phát tia hồng ngoại hoạt động 24/7 mà không có thời gian ngừng máy nào. Các thông số quy trình nung vẫn giữ được độ ổn định, không xảy ra sự thay đổi nào, do đó không cần phải tiến hành kiểm tra lại. Độ đồng đều cao giúp giảm sự biến đổi kích thước vật liệu, từ đó giảm số lượng sản phẩm cần sửa chữa.
Nhu cầu sử dụng năng lượng cũng giảm xuống, vì chúng ta chỉ cần gia nhiệt cho vùng cần xử lý, chứ không cần làm nóng toàn bộ buồng nung. Tuổi thọ của bộ phát tia hồng ngoại có thể lên đến 5.000 giờ, với mức suy giảm hiệu suất chưa đến 5%. Do đó, bạn cần ít linh kiện dự phòng hơn, chi phí bảo trì cũng giảm đi, đồng thời tránh được rủi ro khi thay đổi thiết bị.
Những điều cần lưu ý khi lập kế hoạch Bộ phát tia hồng ngoại đòi hỏi sự căn chỉnh quang học chính xác, cùng hệ thống cung cấp năng lượng ổn định để duy trì độ ổn định của bước sóng tia hồng ngoại. Nếu việc căn chỉnh không chính xác, bạn sẽ thấy xuất hiện các vùng nóng trên bề mặt wafer.
Bạn cũng cần đảm bảo môi trường sạch và khô ráo để tránh tình trạng cửa sổ bị mờ khi nhiệt độ nung thấp. Hãy lên kế hoạch tích hợp bộ phát tia hồng ngoại vào hệ thống điều khiển quy trình in ấn, đồng thời kiểm tra kỹ đường cong hấp thụ ánh sáng của lớp phim phản quang để đặt đúng mức công suất tia hồng ngoại cần thiết.