اپنے فیبریکیشن پلانٹ میں حرارت کو ضائع ہونے سے روکیں۔
زیادہ تر ہیٹنگ ایلیمنٹس، بلبوں کی طرح ہی ہوتے ہیں؛ یعنی وہ توانائی کو ہر سمت میں خارج کرتے ہیں۔ سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن پلانٹس میں یہ ایک بڑی مشکل ہے۔ جب آپ کسی ویفر کو گرم کرنے کی کوشش کرتے ہیں، لیکن دراصل آلے کے اندرونی حصے ہی گرم ہو جاتے ہیں، تو یہ توانائی کا ضیاع ہی ہے۔ اس سے بدتر بات یہ ہے کہ آپ کا آلہ ایک بڑے ریڈییٹر کی طرح کام کرنے لگتا ہے، جس کی وجہ سے آپ کے عملے کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔
ہم اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے ڈائریکٹریل انفراریڈ (IR) ٹیکنالوجی کا استعمال کرتے ہیں۔
یہ ٹیکنالوجی کیسے کام کرتی ہے؟
عام بلب توانائی کو ہر سمت میں خارج کرتے ہیں۔ ہم ریفلیکٹرز اور سلیکٹیو ایمیٹرز کے استعمال سے اس انفراریڈ توانائی کو براہِ راست ویفر کی طرف بھیجتے ہیں۔ اس طرح، آلے کا باہری حصہ ٹھنڈا رہتا ہے، حالانکہ اندر کا حصہ بہت گرم ہوتا ہے۔
ثرمل پروفائل کو درست رکھنا
آپ صرف ایک اعلیٰ واٹیج والا بلب استعمال کرکے اچھے نتائج کی توقع نہیں کر سکتے۔ اگر بلب کی پیدا کردہ توانائی، مواد کی صلاحیت کے مطابق نہ ہو، تو وہ توانائی ویفر سے ٹکرا کر آلے کی دیواروں پر گر جاتی ہے۔ اسی لئے ہم خاص طولِ موج والے بلبوں کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ ویفر واقعی اس توانائی کو جذب کر سکے۔
اس کے علاوہ، آپ کا HVAC سسٹم بھی اس سے فائدہ اٹھائے گا۔ اب آپ کو اپنے آلات سے نکلنے والی حرارت سے جدوجہد کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔
خامیاں اور ان سے نمٹنے کے طریقے
ڈائریکٹریل ہیٹنگ کوئی جادوئی طریقہ نہیں ہے۔ جب آپ توانائی کو ایک خاص نقطے پر مرکوز کرتے ہیں، تو اس نقطے پر بہت زیادہ حرارت پیدا ہوتی ہے۔ اگر آپ کی پوزیشن چند ملی میٹر بھی غلط ہو، تو ویفر پر گرم نقاط پیدا ہو جاتے ہیں۔ اس لئے بلب کی تنصیب بالکل درست ہونی چاہیے۔
اگر آپ کو یقین نہیں ہے کہ آپ کی پوزیشن درست ہے یا نہیں، تو ایک ثرمل کیمرہ استعمال کرکے دیواروں کا درجہ حرارت چیک کریں۔ اگر آلے کی سطح کا درجہ حرارت 45°C یا اس سے زیادہ ہے، تو آپ توانائی کو ضائع کر رہے ہیں۔ ڈائریکٹریل IR ٹیکنالوجی کا استعمال کرکے آپ اپنے پروسیس کا درجہ حرارت بالکل درست رکھ سکتے ہیں، اور کسی کو چوٹ لگنے کا خطرہ بھی نہیں رہتا۔