300 ملی میٹر لائن پر، شیڈولر اس لئے رکتا نہیں ہے کہ بیک پروفائل میں تغیر آ جاتا ہے۔ آدھے ڈگری کا فرق بھی لائن ویڈتھ میں تغیر کا سبب بن سکتا ہے، جس کی وجہ سے مصنوعات بیکار ہو جاتی ہے۔ کنوکشن اوونز، کلین روم کی جگہ اور عمل کے وقت کے لحاظ سے مشکلات پیدا کرتے ہیں؛ جبکہ ہاٹ پلیٹس سے کنارے سے درمیان تک گریڈیئنٹ پیدا ہوتا ہے، جس کی وجہ سے پیداواری صلاحیت متاثر ہوتی ہے۔
واقعی اہم باتیں
ہم نے لینیئر انفراریڈ ایمیٹر کو ایک سخت شرط کے تحت تیار کیا: ویفر کے پورے رقبے پر درجہ حرارت کی یکسانیت، نہ کہ صرف اوسط درجہ حرارت۔ شارٹ-ویو انفراریڈ روشنی، استحکام یافتہ کوارٹز کی کھڑکی سے گزرتی ہے، تاکہ اسپیکٹرل آؤٹ پٹ صرف فوٹوریزسٹ سٹیکٹھ سے ہی جذب ہو۔ اس طرح سبسٹریٹ کا درجہ حرارت بہت زیادہ نہیں بڑھتا۔
نتیجے کے طور پر، ایکٹیو بیک زون میں درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C ہے، اور ریمپ-اپ عمل چند ملی سیکنڈوں میں ہی مکمل ہو جاتا ہے۔ یہ ایمیٹر کلاس 1–100 کے کلین رومز میں کام کرتا ہے، کیونکہ اس کی ساخت بند ہے؛ ذرات کی پیداوار بہت کم ہے، اور گیسوں کا اخراج بھی کنٹرول میں ہے، تاکہ لیتھوگرافی سسٹم محفوظ رہے۔
پروڈکشن میں اس کی کامیابی کی وجوہات
فیکٹری میں، یہ ایمیٹر 24/7 کام کرتا ہے، بغیر کسی غیرمتوقع رکاوٹ کے۔ سافٹ بیک اور ہارڈ بیک پروفائلز بار بار استعمال کئے جا سکتے ہیں، بغیر کسی تغیر کے۔ درست یکسانیت کی وجہ سے CD میں تغیر کم ہوتا ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت بھی کم ہوتی ہے۔
توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیونکہ ہم صرف ہدف والے علاقے کو ہی گرم کرتے ہیں، نہ کہ پورے چیمبر کو۔ ایمیٹر کی زندگی 5,000 گھنٹوں سے زیادہ ہے، اور آؤٹ پٹ میں 5% سے بھی کم کمی ہوتی ہے۔ اس طرح کم سپیئر پارٹس کی ضرورت ہوتی ہے، PM لیبر کی لاگت کم ہوتی ہے، اور ٹولز کی تبدیلی کے دوران خطرات بھی کم ہوتے ہیں۔
منصوبہ بندی کے لئے ضروری باتیں
ایمیٹر کے لئے درست آپٹیکل الائنمنٹ اور مناسب پاور سپلائی ضروری ہے، تاکہ اسپیکٹرل سٹیبلٹی برقرار رہے۔ اگر الائنمنٹ درست نہ ہو، تو ویفر پر گرم علاقے دکھائی دیں گے۔
کم درجہ حرارت پر کھڑکی کے دھندلا جانے سے بچنے کے لئے، صاف اور خشک ہوا کی ضرورت ہے۔ لیتھو ٹریک کنٹرولر اور بیک ماڈیول انٹرفیس کے ساتھ اس کو انضمام کرنا ضروری ہے، اور فوٹوریزسٹ کی جذب کی شرح کی تصدیق کرنا بھی ضروری ہے، تاکہ NIR پاور ڈینسٹی درست طریقے سے سیٹ ہو سکے۔