На лінії виробництва процеси травлення та заповнення отворів TSV не залишають жодних можливостей для теплових змін. Зміна температури на 2°C під час процедури випалювання фотолаку може пошкодити контроль за критичними розмірами елементів та спричинити утворення порожнин у заповнювачах отворів. Нагрівач TSV забезпечує стабільність температури на рівні ±0,1°C протягом усього процесу.
Що є важливим у цьому процесі
Ми створили нагрівач TSV на основі галогенних ламп із швидкою реакцією, налаштованих на короткі хвилі інфрачервоного світла, щоб фотолак та кремній могли прямо поглинати це світло. Рівень температури досягає заданого значення за кілька секунд, а швидкість зміни температури дозволяє зберігати точність при варіаціях до 0,5°C/с. Система може функціонувати у чистих приміщеннях класу 1–100 без утворення частинок; рівень частинок не перевищує 0,1 частинки/см². Нагрівач призначений для цілодобової роботи без перерв, а тепловий баланс залишається під контролем, що забезпечує цілісність елементів та захисних шарів.
Чому це корисно у практичному використанні
При виробництві елементів TSV з малими відстанями між ними та тонкими діелектриками наш нагрівач забезпечує стабільний тепловий профіль по всій поверхні пластини. Це дозволяє забезпечити стабільність процесу літографії, зменшує кількість необхідних корекцій та гарантує надійне заповнення отворів. Використання енергії зменшується, оскільки лампи швидко досягають заданого рівня температури та підтримують його без значних відхилень, що скорочує час виконання процесу без жертвування якістю.
Що потрібно врахувати під час впровадження
Встановлення нагрівача залежить від точного оптичного вирівнювання та наявності спеціальної системи відведення газів, які утворюються під час процедури випалювання. Нагрівач може використовуватися зі стандартними інтерфейсами, але обмеження, пов’язані зі старими пристроями, можуть вимагати використання спеціальних адаптерів.Необхідно провести кілька тестових запусків для визначення температурного профілю по всій поверхні пластини та налаштування параметрів процесу. Після цього процес буде стабільним та можна буде його використовувати без проблем.